TFT-LCD（薄膜晶體管液晶顯示屏）是一種基礎(chǔ)技術(shù)，自二十世紀(jì)九十年代開始民用以來，它已成為現(xiàn)代生活不可或缺的組成部分，其應(yīng)用遠(yuǎn)不限于電視機(jī)和智能手機(jī)，它存在于我們?nèi)粘Ｉ钪械姆椒矫婷妫菏直恚纱┐髟O(shè)備）、電器、廣告、標(biāo)牌、汽車等。今天主要介紹一下顯示制造工藝所需要的特種氣體，和保證氣體安全輸送使用的特氣系統(tǒng)。

TFT顯示屏制造與半導(dǎo)體器件制造方面有很多相似之處，比如：這兩種制造過程中都需要使用大量氣體、比如工藝步驟中的沉積、刻蝕、清潔和摻雜，還有其他步驟使用的氣體類型也都比較相似。

這些氣體中電子特種氣體（ESG）包括硅烷、三氟化氮、氟（現(xiàn)場(chǎng)產(chǎn)生）、六氟化硫、氨氣以及磷化氫混合物，占顯示屏制造中使用氣體的52％。比如硅烷：SiH4是顯示屏制造中最關(guān)鍵的氣體之一，與氨氣（NH3）結(jié)合使用，形成用于非晶硅（a-Si）晶體管的氮化硅層，與氮?dú)猓∟2）結(jié)合使用，形成用于低溫多晶硅（LTPS）晶體管的預(yù)準(zhǔn)分子激光退火非晶硅（a-Si），或與氧化亞氮（N2O）結(jié)合使用形成金屬氧化物（MO）晶體管的氧化硅層。

TFT-LCD中的特氣系統(tǒng)

為保證TFT顯示屏制造中易燃易爆、劇毒性和腐蝕性等危險(xiǎn)性電子特種氣體的安全使用，都會(huì)安裝特氣系統(tǒng)。特氣系統(tǒng)由半導(dǎo)體SEMI S2認(rèn)證的特氣柜（GC）、特氣架（GR）、VMB/VMP以及特氣管道組成，保證如硅烷、笑氣（N2O）等特種氣體的安全輸送。

綜上，TFT-LCD顯示屏制造中PECVD（等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積）、蝕刻、LTPS和MO晶體管的生產(chǎn)都需要使用特種氣體，而特氣系統(tǒng)中的SEMI S2認(rèn)證的特氣柜（GC）、特氣架（GR）、VMB/VMP以及特氣管道保證特種氣體的安全輸送，并保證氣體純度和穩(wěn)定壓力。